mems属于哪个行业?-成铭留学

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）属于集成电路行业。它是微电路和微机械按功能要求在芯片上集成的一种技术，基于光刻、腐蚀等传统半导体技术，并结合超精密机械加工以及力学、化学、光学等学科知识和技术，制造出具备精确机械、化学、光学特性的微型器件

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